Semiconductores
Instrumentos de presión para fabricantes de semiconductores
Se espera que el importante crecimiento de la industria mundial de semiconductores en los últimos años continúe hasta 2021 y más allá. Entre los factores clave que contribuyen a ello se encuentran el aumento de la incorporación de la microelectrónica en los dispositivos eléctricos y electrónicos, la inteligencia artificial, el IoT y la expansión de las iniciativas de la Industria 4.0. A medida que se producen estos cambios, los proveedores de semiconductores se enfrentan al reto de mejorar la oferta para satisfacer la demanda, es decir, aumentar la densidad de transistores, mejorar la fiabilidad y, por supuesto, reducir los costes de producción y compra.
Ashcroft está preparado y dispuesto a ayudar a los fabricantes de semiconductores a asumir y superar este reto. Equipados con una amplia experiencia en la industria, tenemos el conocimiento y las habilidades para ayudar a desarrollar, diseñar, fabricar y probar los instrumentos y equipos necesarios para la producción de semiconductores de alta calidad.
Ofrecemos una gran variedad de productos de medición de la presión -incluidos transmisores con nuestra tecnología patentada de detección CVD ultraestable adecuados para su uso en aplicaciones de fabricación de semiconductores. Las prestaciones de nuestros productos van acompañadas de aprobaciones de seguridad mundiales y de un legado de rendimiento en las aplicaciones de semiconductores más críticas.
Cuando el aumento de la demanda pone en riesgo la productividad y la seguridad, su operación necesita instrumentos que soporten condiciones extremas para garantizar la máxima eficiencia. Desde la destilación y el fraccionamiento hasta el hidrocraqueo y el tratamiento de procesos, tenemos las soluciones adecuadas.
Capacidad de alta presión/alta temperatura (HPHT)
Rendimiento PLUS!™
Materiales húmedos resistentes a la corrosión y NACE
Traducción realizada con la versión gratuita del traductor www.DeepL.com/Translator
Algunos de los gases utilizados en las aplicaciones de semiconductores son tóxicos, inflamables y peligrosos para quienes los manipulan. Estos peligros requieren la aprobación de lugares peligrosos ATEC e IECEx para muchos productos. Ashcroft y Nagano Keiki Co. Ltd. de Japón (nuestra empresa matriz) producen anualmente más de 100.000 transmisores de presión y manómetros diseñados y elaborados para un uso seguro en aplicaciones de la industria de semiconductores.
El hidrógeno es uno de los gases portadores más comunes utilizados en el suministro de gases UHP. La manipulación segura del hidrógeno requiere la aplicación de medidas de protección que mitiguen el riesgo de incendio o explosión. Los métodos preferidos son la seguridad intrínseca ATEX/IECEx y las homologaciones antichispas. Un factor crítico a tener en cuenta es el efecto de la fragilidad del hidrógeno. La estabilidad y repetibilidad de los transmisores y manómetros de presión dependen de sus mecanismos de medición (directamente ligados a la metalurgia y su resistencia a la fragilidad). Los transmisores y manómetros Ashcroft de alta pureza utilizan acero inoxidable austenítico 316L de alta pureza, que ha demostrado mitigar los efectos de la fragilidad por hidrógeno.
La cantidad de presión necesaria para evitar que los contaminantes se infiltren en las salas blancas y otros espacios limpios es muy específica. Una presión demasiado baja provoca la entrada de partículas no deseadas, mientras que una presión excesiva provoca un movimiento de aire excesivo y un desperdicio de energía. Los transductores y manómetros integrados en el equipo de tratamiento del aire deben ser extremadamente sensibles, precisos y fiables.
Importancia de la medición de la presión en la fabricación de semiconductores
En la actualidad, las operaciones de fabricación de semiconductores dependen del suministro preciso y exacto de gases de pureza ultra alta (UHP), que requieren niveles de pureza superiores al 99,9995% y un estricto control de las partículas extrañas y la humedad. Dada la importancia de los sistemas de suministro de gases UHP, las tecnologías de medición y control utilizadas para su distribución deben ofrecer un rendimiento de alta precisión y exactitud al tiempo que mantienen una limpieza absoluta dentro del sistema. Los materiales de construcción deben permanecer inertes en contacto con los gases UHP, minimizar el riesgo de volumen atrapado (muerto) y evitar el desprendimiento y el atrapamiento de partículas.
Aunque son esenciales para la fabricación de los semiconductores modernos, la toxicidad y la inflamabilidad de los gases UHP plantean riesgos significativos para la salud y el bienestar de quienes los manipulan. Por este motivo, algunos dispositivos utilizados en las operaciones con semiconductores deben cumplir con las especificaciones y normas sobre integridad de las fugas y ubicaciones peligrosas (por ejemplo, ATEX e IECEx) para garantizar la seguridad de los usuarios.
Instrumentos de presión Ashcroft para la fabricación de semiconductores
Transmisores de alta pureza ZT y manómetros de alta pureza HPX
Nuestros transmisores de presión ZT/ZX y manómetros HPX están especialmente diseñados para su uso en aplicaciones de semiconductores. Estos productos cuentan con piezas húmedas de acero inoxidable 316L electropulido y accesorios de tubo modulares y soldables compatibles con VCR con volúmenes muertos mínimos. Tienen diseños compactos que se adaptan a configuraciones de montaje de mayor densidad dentro de cajas de gas y sistemas de suministro de gas. La ZX11 incluye aprobaciones para lugares peligrosos ATEC e IECEx.
Transductor de presión ZL91, transductor de presión ZL92 y manómetro HPT - 63 mm
El transductor de presión ZL91 de Ashcroft está construido con partes húmedas de fluoropolímero (PTFE/PFA) que minimizan la elución de iones metálicos. Su diseño compacto ayuda a reducir la contaminación y mantener la pureza de su fluido de proceso. Este transductor es muy adecuado para instalaciones y equipos de agua ultrapura/desionizada, equipos de limpieza para semiconductores y aplicaciones de estaciones húmedas.
El transductor de presión Ashcroft ZL92 está diseñado para su uso en procesos de semiconductores que requieren partes húmedas de PTFE/PFA para mejorar la compatibilidad química para su uso en gases y fluidos corrosivos, incluyendo el ácido fluorhídrico u otros ácidos agresivos. Un diafragma de aislamiento secundario y un diseño de ventilación aíslan el elemento sensor cerámico de los gases y líquidos corrosivos, lo que prolonga la vida útil del transductor. Este transductor funciona bien en equipos de limpieza para semiconductores, grabado húmedo y sistemas de suministro de productos químicos.
El manómetro anticorrosión HPT de 63 mm de Ashcroft ofrece un rendimiento y una fiabilidad excepcionales para los sistemas de suministro de productos químicos dentro de las industrias de semiconductores y fabricación electrónica. Está sometido a pruebas de fugas de nitrógeno para garantizar una integridad superior, mientras que su diseño compacto es ideal para instalaciones de espacio limitado. El manómetro está fabricado con piezas húmedas de fluoropolímero que lo hacen
Transmisores y transductores de presión diferencial baja para salas y espacios limpios
Muchos de nuestros transductores de presión diferencial -incluidos los DXLdp, CXLdp, AXLdp y GC30- están integrados con tecnología Si-GlasⓇ, lo que les ayuda a satisfacer las necesidades de supervisión y control altamente críticas de las aplicaciones de presión diferencial ultrabaja. Rangos de presión tan bajos como 0,05 en H2O (12,5 Pa) permiten el control más estricto a presiones increíblemente bajas.
Nuestros manómetros de la serie 1130 están diseñados para su incorporación en cajas de guantes, equipos de manipulación de obleas y paneles murales con rangos de presión diferencial tan bajos como 0,6 in H2O (150 Pa).
Traducción realizada con la versión gratuita del traductor www.DeepL.com/Translator
Preguntas frecuentes
¿Existen otras escalas y opciones de esferas para los manómetros HPX?
Sí, otras unidades de presión, rangos o diales personalizados pueden ser acomodados a petición, pero pueden estar sujetos a cantidades mínimas.
¿Hay otras conexiones de presión disponibles en los transmisores de presión ZT/ZX?
Otros accesorios de presión (como el manguito de soldadura/tubo o VCO) se pueden acomodar a petición, pero pueden estar sujetos a cantidades mínimas.
¿Cómo se empaquetan los productos de alta pureza Ashcroft?
Todos los instrumentos de alta pureza ZT/ZX y HPX se embalan en dos (2) bolsas de plástico (PE) purgadas con nitrógeno.
Confíe en los expertos de Ashcroft
En Ashcroft, estamos aquí para ayudarle a identificar la solución de medición y control adecuada para sus necesidades de fabricación de equipos industriales. Para las soluciones de instrumentos que se integran con su equipo, confíe en nosotros para poner nuestra experiencia en la industria, el conocimiento de la ingeniería, y la actitud de poder trabajar para usted.